精度高
可檢漏率低至5x10-7mbarl/s,相當于0.1克/年的漏率，與氦檢吸槍法精度相同，高于鹵素檢漏儀，遠遠高于保壓法和水泡法。
安全性好
5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是符合標準（ISO10156）的安全不可燃氣體，無毒性和腐蝕性，綠色環保，也不會對設備和環境產生不利影響。
適用性廣
氮氫檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類似，均是在被檢工件內部充注高壓氣體，只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉換為氮氫檢漏非常方便，只要改變氣源，用氮氫檢漏儀進行檢漏即可。
氣體成本低廉
與價格日益上漲，且越來越難以保證供應的氦氣相比，5%氫氣+95%氮氣非常容易制備，是一種工業標準安全氣體，在全國各地都很容易買到。
由于氦氣屬于稀有的*氣體，而中國又屬于貧氦國，因此國內的大批量氦氣供應基本上都要依靠國外進口。隨著氦氣資源的緊缺以及由此帶來的價格的一路高漲，今后氦氣的供應可能會更加受到限制。
維護成本低
氮氫檢漏儀本身內部沒有真空泵、閥門等活動部件，因此無須對檢漏模塊進行維護，可以節省大量的維護費用。
對檢漏環境要求不高
與氦氣相比，氫氣的分子量zui小，逃逸性，粘滯性極低，不容易吸附在材料表面對本底環境造成影響，因此氮氫檢漏技術對本底環境要求要遠低于氦檢漏技術。另外，空氣中氫氣的含量為0.5ppm，遠低于氦氣的5ppm，空氣本底對檢漏的影響更小。
響應速度快
氮氫檢漏儀的分析元件在探棒部分，不像氦氣檢漏儀那樣需要將氣體通過管道吸入到質譜室進行分析，所以響應時間很短，在0.5s內即有響應。
小巧便攜，方便移動
體積小、重量輕。
