探針臺高低溫真空探針臺可以很好的滿足極低溫測試和高溫無氧化測設：*** 極低溫測試:    因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。*** 高溫無氧化測試：當晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。特點：      1、晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，高低溫真空針座位于腔體外部，便于操作重新調整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。針座行程 X-Y-Z ：25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)，精度10 micron（有效行程和精度可選）；2、工作臺溫度范圍：-150℃——400℃，顯示精度0.1℃，控溫精度2℃，工作臺溫度均勻   性5℃,常溫到-150℃冷卻時間:1小時40分鐘，常溫到400℃加熱時間：40分鐘；3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa（配置機械泵）；4、可以選擇射頻配件做高67 GHz的射頻測試；5、選配：顯微鏡、防震桌、方形工作臺、分子泵組、射頻部件等。

歡迎來到北京維意真空技術應用有限責任公司， 具體地址是北京市密云縣西田各莊鎮(zhèn)雁密路99號601室-819，老板是楊利佳。 是,手機是,主要經(jīng)營北京維意真空技術應用有限責任公司，原名北京科立方真空技術應用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國·首都北京密云經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設備定制、淺藍納米科技三個部分，是北京從事真空產(chǎn)品設計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術工程師和維修技術工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗。。 單位注冊資金單位注冊資金人民幣 ３00 萬元以下。 作為一家從事教育裝備多年的企業(yè)，主營維意真空,ALD,原子層沉積鍍膜設備,PE-CVD,等離子體增強化學氣相沉積鍍膜設,源瓶等產(chǎn)品，不論是什么樣的客戶我們都會以真誠的態(tài)度，優(yōu)惠的價格，可靠地品質及熱忱的服務來面對您。而且大量的庫存以及合作的物流公司，確保您的貨物能準確安全的到達您的手中。一切為成為您可靠的伙伴而努力！