應用領域: 低溫 真空氣氛管式爐(管式爐、實驗電爐)廣泛適用于低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。
主要特點: 低溫 真空氣氛管式爐(管式爐、實驗電爐)采用高純石英管或剛玉管作為內爐膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度;耐火,保溫材料全部采用*的輕質纖維制品,整機質量輕、能耗低;低溫真空氣氛管式爐(管式爐、實驗電爐)加熱元件采用U型硅鋁(碳)棒或*電阻絲;本系列低溫真空氣氛管式爐(管式爐、實驗電爐)溫控系統采用進口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩定性、重復性。
技術指標:
設備型號 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 | |
zui高溫度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用溫度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ | |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |
溫區個數 | 3個 | 1個 | 2個 | 1個 | |
加熱區長度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm | |
爐管尺寸 | ф60(外徑)×1400(mm) | ф60(外徑)×1000(mm) | ф70(外徑)×1450(mm) | ф90(外徑)×1450(mm) | |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 | |
發熱元件 | 進口電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 | |
zui大裝機功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
CVD-□□□ 選件功能 | /□ | /□ |
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V |
| 真空系列:單級機械泵+擴散泵機組 | |||
| Q | 氣氛系統:浮子流量計;進口/國產質量流量計 | |||
備注:以上設備系統具備冷態極限真空6.67×10-2Pa接口條件;其他特殊工藝要求的訂貨時請說明。 價格根據工藝要求不同價格不同。 具體請:張,; |
具體請參照合肥日新高溫技術有限公司企業門戶產品頁面:http://www.risine.com/product_default.asp