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HMDS烘箱,hmds預處理烘箱

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  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2017/3/17 9:35:24
  • 訪問次數(shù)1711
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
將HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅蹾MDS烘箱,hmds預處理烘箱夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。
HMDS烘箱,hmds預處理烘箱 產(chǎn)品信息

將HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

HMDS烘箱,hmds預處理烘箱系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成

 

加熱模塊

    由于工藝的整個過程都需要在150左右的環(huán)境下進行,所以自始至終加熱統(tǒng)都在工作

    本系統(tǒng)采用在腔內(nèi)分布兩塊獨立的熱板來實現(xiàn)加熱,每個熱板都采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100

真空模塊

   由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余HMDS蒸汽

充氮模

   作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而zui終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛

   主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成

HMDS烘箱,hmds預處理烘箱控制模塊

    控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組

  人機界面采用φ100mm松下觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC

軟件組成

整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數(shù)設定、幫助

當按下自動運行鍵后,畫面轉(zhuǎn)換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態(tài),運行時間等,同時系統(tǒng)開始運行。

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