設(shè)備簡介：
小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，也可整機放置于手套箱內(nèi)，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進口或者優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。
目前該設(shè)備配3組電阻蒸發(fā)源（可兼容金屬與有機蒸發(fā)），一臺2000W直流蒸發(fā)電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、有機薄膜等。
主要技術(shù)參數(shù)
1、腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；
2、樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸Ф100mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；
3、真空系統(tǒng)：機械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)（可選國產(chǎn)分子泵）；GDC-25b電磁擋板閥；
4、極限真空：8.0×10-5Pa；
5、真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 20min；
6、真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；
7、蒸發(fā)源：3組電阻蒸發(fā)源，3組間可切換，源間有防污板；
8、蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供3組蒸發(fā)源切換使用；
9、控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能；
10、設(shè)備外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm機電一體化機架，預(yù)留1個KF40和一個CF35法蘭接口；
11、設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；
12、冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；
設(shè)備主要優(yōu)勢
1、實用性：設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件；通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機多用；
2、方便性：設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；
3、高性價比：設(shè)備主要零部件采用進口或國內(nèi)，以國產(chǎn)設(shè)備的價格擁有進口設(shè)備的配置，從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能；
4、安全性：獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能，保證了設(shè)備的使用安全性能；
5、靈活性：設(shè)備可整機（除機械泵外）放置于手套箱內(nèi)，也可單獨放在實驗桌上，省去與手套箱對接接口等問題，靈活方便
