隔膜吸收器
真空發生裝置是產生真空的元件，有真空泵和真空發生器兩種類型。
1.真空泵
真空泵的結構形式和工作原理與空氣壓縮機相類似，在氣動系統中多采用容積型真空泵，如回轉式真空泵、膜片式真空泵和活塞式真空泵。
隔膜吸收器
真空發生器由于它獲取真空容易，結構簡單，體積小，無可動機械部件，使用壽命長，安裝使用方便，因此應用十分廣泛。真空發生器產生的真空度可達88 kPa，盡管產生的負壓力（真空度）不大，流量也不大，但可控、可調，穩定可靠，瞬時開關特性好，無殘余負壓，同一輸出口可正負壓交替使用。
(1) 工作原理 典型真空發生器結構原理如圖1所示。它是由先收縮后擴張的拉瓦爾噴管1、負壓腔2和接收管3等組成,有供氣口、排氣口和真空口。當供氣口的供氣壓力高于一定值后，噴管射出超聲速射流。由于氣體的粘性高速射流卷吸走負壓腔內的氣體，使該腔形成很低的真空度。
(2) 在真空口A處接上真空吸盤，靠真空壓力和吸盤吸附面積可吸取物體。
1－拉瓦爾噴管 2－負壓腔 3－接收管 4－真空腔
真空發生器的耗氣量 真空發生器耗氣量是由工作噴嘴直徑決定的，但同時也與工作壓力有關。同一噴嘴直徑，其耗氣量隨工作壓力的增加而增加。噴嘴直徑是選擇真空發生器的主要依據。噴嘴直徑越大，抽吸流量和耗氣量越大，而真空度越低；噴嘴直徑越小，抽吸流量和耗氣量越小，但真空度越高。
排氣特性和流量特性 排氣特性是指真空壓力、吸入流量或空氣消耗量隨真空發生器的供氣壓力變化的關系。它們隨著供氣壓力的增加而增大。
