英國CRESSINGTON離子濺射儀

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產品范圍：

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品牌介紹：

英國CRESSINGTON是業內zui的電鏡配套高性能鍍膜儀方案供應商也是此類配套方案的者，自從上世紀六十年代開始，伴隨著商業掃描電鏡的普及，CRESSINGTON的配套鍍膜設備也一并研發和配套使用，并獲得科研工作者*好評。經過近六十年發展，英國CRESSINGTON依然只專注于顯微鏡配套鍍膜產品的設計研發和業內性能市場領頭地位，現階段已有超過六千客戶群，也是配套掃描電鏡的*鍍膜儀品牌。其的冷態濺射鍍膜技術不但可以獲得高質量膜層，也解決了長久以來困擾用戶的熱損傷和熱變形問題，而其另一濺射電流回路設計也保證了真正均勻*的鍍膜。

主要型號：

CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108

Cressington 108+108C高性能鍍金鍍碳儀簡介：

Cressington 108+108C 全自動鍍金鍍碳聯用儀是*秀高質量的鍍膜儀系統 ，在保證高性能鍍膜同時，不會引起鍍金與鍍碳的相互污染，提高儀器使用效率以及鍍膜精度。

優勢說明：

●自動的換氣與泄氣功能，可以得到*的膜厚，和*秀的導電噴鍍效果。

●通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

●在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果。

●數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到*的鍍膜速率和*秀的鍍膜效果。

●*的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。

●108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

技術規格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結構

樣品臺：可放置12個標準SEM樣品座，高度可在 60mm內調節

濺鍍材料：Bradley 型高純度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，zui大180A，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，zui大電流40mA，程序化數字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb  電流: 0 - 200A

厚度監測器： MTM-10高精度厚度監測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

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