氣體質量流量控制器 庫號：M406694氣體質量流量控制器 庫號：M406694

產品型號 CS200-A型
產品類型 型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
產品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復精度 ±0.2% FS
線性 ±0.5% F.S.
響應時間 ≤1sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
密封材料 氟橡膠Viton
輸入輸出信號 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型 常開(流量量程≤30slm)或常閉
溫度系數 Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點飄移指標 ＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male