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低溫等離子反應原理為粒子非彈性碰撞的結果。低溫等離子體內部含有 電子/離子/自由基和激發態分子，其中高能電子與氣體分子發生非彈性 碰撞，將能量轉換成基態分子內能，發生激發/離解和電離等一系列過 程，使氣體分子處于活化狀態。一方面打開了氣體分子鍵，生成一些單 分子和固體微粒。另一方面產生強氧化性物質對有機氣體進行無選擇氧 化。
            等離子體形式：1.輝光放電2.電暈放電3.介質阻擋放電4. 射頻放電5.微波放電
       其中常壓產生低溫等離子體的只有電暈放電和介質阻擋放電。
       低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當 外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離 子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重 粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
       低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性 粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解， 并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。（注：低溫等離子體 相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）

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       低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣 態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體 的交叉綜合性電子化學技術，由于能易使污染物分子高效分解且處理能 耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中zui有效的技術方法之一，其 使用和推廣前景廣闊，為工業領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開 辟了一條新的思路。
         DDBD等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、 自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物 質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種 反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離 子技術相比較，DDBD等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就 是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣99%以失敗而告終的原因。

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