PVA-TePla 射頻等離子體清洗機（*）

型號：IoN 40 (M4L 升級版)， IoN 100, IoN 100WB, IoN 300

典型應用：

表面精密清潔 Surface Precision Cleaning

表面活化  Surface Modification

提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements

改變表面親水性/疏水性  Hydrophilic/Hydrophobic

分子接枝   Molecular Grafting

涂層  Plasma Deposited Coatings

去除光刻膠 Photo-resist Stripping

規格參數：

13.56MHz風冷射頻電源（0～600w可調，可選0～300W，0-1000W），

高靈敏快速自動匹配功能

陽極表面處理鋁制腔體，

水平抽卸極板/垂直極板/側壁極板/水冷極板，

不銹鋼防腐蝕MFC，

多至6路氣體，

分級密碼權限管理，

PC工控機控制，運行數據自動存儲，

局域網數據庫自動導入，

系統自動升級、更新，

觸控屏圖形化界面

外形尺寸：775×723×781 mm

可選配法拉第桶

可選配壓力控制系統

可選汽相MFC

可選高精度真空規，

可選液態單體操作裝置

認證：

CE 認證

EN 61010

EN 61326

Semi E95

USP Class VI

FDA CFR Title 21 Part 11

CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70