美國ist(integrated surface technologies)公司 repellix 原子沉積表面改性(親水、超疏水、防水設備)
——美國ist公司為pva tepla的戰略合作公司
型號:rpx-210, rpx-540, rpx-560
典型應用:
表面改性(微流控芯片管道表面改性)
mems表面抗粘合層(提高mems器件的抗摩擦性)
半導體制造和封裝涂層
dna微陣列
生物兼容性改性
親水 μ流體薄膜
疏水保護薄膜()
提高表面粘附性
無機氧化物原子沉積
控制:
pc精密控制,形成單分子層,可設置連續或交替進行。
靈活的控制系統,允許自行設計工藝,形成特色納米結構。
同一設備更換不同單體可完成不同工藝。
優勢:
靈活的工藝步驟
自然沉積,均勻性*
重復性好
低成本
適用大批量生產
配置:
腔體大?。?17.5×243.84×254 mm
運行真空度:10 torr(100℃)
腔室溫度:85℃
設備大?。?016×965.2×914.4 mm
回充氣體:n2 或cda (5.5 bar)
pc控制
多達32,000可編程步驟