54系列美國SMI微壓傳感器
產品范圍;
54系列美國SMI微壓傳感器、SMI硅低壓傳感器、SMI、SMI硅壓力傳感器、SMI芯片
品牌介紹：
Silicon Microstructures Incorporatec公司簡稱SMI，專業生產各種硅微結構壓力傳感器，產品廣泛用于汽車制造、醫療設備和工業生產。SMI不僅設計、生產各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于MEMS的傳感器系統代工服務。作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業生產廠家，SMI 成立于1991年。起初公司專業生產硅低壓傳感器，該產品精度至今仍為同類產品的20倍以上，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結構傳感器，為各類OEM 客戶提供質優價廉的產品。2001年4月該公司被專門生產汽車用ASIC的Elmos半導體公司收購。通過集成 Elmos 的ASIC技術和SMI的6 英寸晶圓生產工藝，推出高性能、系統化、低價位的新一代完整片上系統微結構傳感器。2002年8月SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，03年SMI設計出新型6英寸晶圓生產設備，該設備擁有的深度離子刻蝕(DRIE)和等離子焊接能力。
主要型號：
51系列、53系列、54系列、55系列、56系列
5102、5103、5106、5108、5112、SM5103、SM5106、SM5108、SM5112、SM53、SM54、SM5350、SM5450、SM5501、SM5502、SM5551、SM5552、SM5611、SM5651、SM5310、SM5410、SM5852、SM5812、SM5822
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