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多功能試樣表面處理機是為掃描電鏡和電子探等進行試樣制備的設(shè)備，可進行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析，尤其是成分的定量分析更為適宜。本儀器裝有機械泵、分子泵，分子泵系統(tǒng)特別適用于對真空要求高、真空環(huán)境好的用戶選用。
※ 主要用途：真空鍍膜，離子濺射，真空蒸碳等。
※ 主要特點：抽速快，操作簡便，真空度高，安可靠。
規(guī) 格
一、試樣處理室
（1）鐘罩：內(nèi)徑250mm×高度340mm
（2）玻璃處理室：
玻璃罩 A:內(nèi)徑88mm×高度140mm
玻璃罩 B:內(nèi)徑88mm×高度57mm
（3）試樣臺：直徑40mm（大）
（4）試樣旋轉(zhuǎn)：電動
（5）擋板：電動
（6）蒸發(fā)加熱器：可同時安裝兩個加熱器
二、真空系統(tǒng)
（1）抽氣系統(tǒng)：由分子泵、機械泵組成的高真空機組
（2）真空檢測：金屬電阻規(guī)、冷規(guī)
（3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa
（4）操作：手動
三、處理電源：
（1）高壓電源：DC 2000V 10mA連續(xù)可變，用表指示。
（2）低壓電源：AC 10V 60A連續(xù)可變，電流用表指示。
四、體積重量：
（1）體積：L800mm×W560mm×H1340mm
（2）重量：約150公斤
五、電源要求：AC 220V 50Hz 10A
六、氣體要求：氬氣--純度99.9%(對樣品有特殊要求時可使用)
七、冷卻要求：
本系統(tǒng)采用F100/110F普通軸承風(fēng)冷渦輪分子泵，其冷卻方式為風(fēng)扇強制風(fēng)冷、通水冷卻兩種，當(dāng)工作環(huán)境溫度低于攝氏32度時，可采用風(fēng)冷冷卻，當(dāng)工作環(huán)境溫度高于攝氏32度時，則必須采用水冷。目前本系統(tǒng)標(biāo)配為風(fēng)扇風(fēng)冷形式。