離子減薄儀制備儀庫號：M403620離子減薄儀制備儀庫號：M4036201. 工作條件
1.1 電力供應(yīng)：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ
1.2 工作溫度：15℃-25℃
1.3 工作濕度：< 60%
2. 技術(shù)要求
*2.1 離子槍：潘寧式離子槍，裝載永磁鐵，聚焦離子束設(shè)計，無耗件。
*2.2減薄角度：+10°到-10°，每只離子槍可獨立調(diào)節(jié)。
2.3 樣品臺旋轉(zhuǎn)：樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。
2.4 樣品臺移動范圍：載臺可以實現(xiàn)X和Y方向的移動，移動范圍：+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量：0.1keV~8keV。可在不同電壓下自動優(yōu)化離子束束流。電流密度可達10mA/cm2.
2.6 離子束調(diào)制：可以進行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄
2.7樣品更換：快速樣品更換時間<1min，無需破減薄室真空
*2.8樣品臺：DouPost樣品臺以及裝樣器，方便快速更換樣品以及實現(xiàn)雙面減薄。
2.9 真空系統(tǒng)：無油機械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體：氬氣，操作壓力25psi，無需水冷
*2.11 控制部分：10英寸觸摸屏控制，菜單化操作，并支持減薄程序的設(shè)定和儲存。

備注：其中，帶*的指標為重要的必須滿足的技術(shù)指標