DH2004型 多功能微波等離子體實驗裝置

TKZM-18脈沖控制儀TKZM-14，DH2004型多功能微波等離子體實驗裝置由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻系統、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微

波源產生頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導管傳輸，TKZM-18脈沖控制儀TKZM-14，DH2004型多功能微波等離子體實驗裝置在水冷諧振腔反應室內激勵

氣體形成軸對稱的等離子體球。高斯計特斯拉計　　可完成以下實驗：微波等離子體化學氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微

波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性和清洗等；適合大學物理、材料、化學

等領域的學生實驗及教師科學研究。

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西安慶成還生產TKZM-20，TKZM-W-10，TKZM-III-8脈沖控制儀