RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)簡介
快速熱處理設備(RTP)可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩定等特點。也可用于各種半導體材料的CVD工藝的熱處理。
RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)主要技術指標
l、外形尺寸:550×650×650mm(長×寬×高)
2、爐內體尺寸:327×249×123mm(長×寬×高)
3、工作室采用進口GE石英,外徑尺寸:290×230×24mm(長×寬×高);表面進行磨砂處理
4、不銹鋼反應室上下反射面聚焦設計,內表面采用鍍金處理,減小熱損失,極大提高了反射效率
5、水冷卻,確保燈箱散熱與快速降溫
6、風扇冷卻保證加熱燈的冷卻
7、zui大溫度范圍150℃—1000℃,K型熱電偶
8、升溫速率:0.01—100℃/s可預設定
9、氣體:兩路美國進口浮子流量計控制,流量:0—5L/min
10、采用歐陸2604高精度溫控儀控制溫度
11、快速熱處理設備(RTP)可編程多條溫度曲線
l2、雙閉環控制溫度,穩態溫度穩定性±1℃
l3、光源:1200W×21只鹵鎢燈
l4、電源:AC380V;63A三相
l5、有效加熱區:180×180mm
l6、石英承片架Ф160mm;配6英寸硅片承片板
上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業,具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業,建筑,節能等行業;多年來,公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統,HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
不斷追求技術進步、提升專業服務能力,做一個專業的儀器設備供應商是我們的發展目標。企業內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創燦爛的未來!
快速熱處理設備(RTP)可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩定等特點。也可用于各種半導體材料的CVD工藝的熱處理。