針對廢氣處理設備的燃燒-水洗系統 
 
概述 
 
CT-BW使用點對點廢氣減排系統是應用于光伏、半導體以及其
它相關產業的化學氣相沉積和刻蝕等領域的一種高性能系統。
隨著新工藝引進了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負荷量，
廢氣減排技術需要進一步改善。 

 
CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標準。CT-BW具有許
多優點，例如，針對化學氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
全氟化合物、各類固體、氣態反應的副產物）有著高處理效率
（DRE）。 
 
該系統的設計是極可靠的，即使在嚴苛的制程條件下仍具有資
源節約性能。 
 
獨立的功能部件（例如，燃燒頭、燃燒腔、水洗腔、廢氣進
口、冷卻系統）可以根據各種應用而靈活地安裝。 
 
我們延長維護周期和zui大化正常運行時間的秘訣是─客戶量身
定制的廢氣減排系統。

工藝技術 
 
? 每個模塊的廢氣總流量可達1,500slm 
? 可高效處理沉積和蝕刻氣體 
? 經改良的減塵處理 
? 監控緊急旁路稀釋 
? 更大的反應腔容量，以提供更佳的處理效率

CT-BW廢氣處理設備-水洗燃燒系統流程示意圖：

特點和優勢 
 
? 高達99.99%的處理效率（DRE） 
? 模塊化 
 - 一個電器柜可連接高達四組獨立模塊 
 - 模塊間彼此隔離 
 - 每個模塊都有其獨立的安全鏈（傳感器，探針等） 
? 每個介質只需要一個Hook-up連接點，可多達4個模塊 
? 客戶量身定制的備用配置 
? 低運行成本，根據制程來控制燃燒頭性能 
? 改良的抗腐蝕反應腔蓋 
? 上至下燃燒器設計，降低燃燒頭噴嘴的阻塞問題 
? 反應腔中的水幕，避免腐蝕和阻塞問題 
? 由于經優化的內部設計，可使維護簡易且快速 
? 自動化的廢氣進口清潔裝置，增加MTBPM 
? 圖形化的使用介面并附解說文字，使故障排除更為容易 
? Ethernet或RS485的監控接口 
? 量身定制的廢氣減排設置，以滿足各種工藝需求 
? 燃料氣的選擇性高，如：液化天然氣、城市燃氣、煤氣、氫氣、丙烷、丁烷等 
? 符合以下的安全標準與規范： 
 - SEMI S2-0706 
 - SEMI S8-0308 
 - SEMI S14-0704 
 - NFPA79: 2007 
 - EN / ISO 14121-1: 2007 
 - EN / ISO 13849-1: 2008 
 - EN60204-1: 2006 
 - MD2006/EC/42-Annex I: 2006 
? 德國制造 

尺寸：

技術數據：