CT-W廢氣處理設備系統描述 :此系統專門設計來有效地處理 HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4、NH3以及其他酸性以及堿性氣體的排放,且同時 維持低運行成本。根據需要處理氣體種類的不同,CT-W可使用酸性或堿性中和劑。水洗器配備高效的逆流噴 嘴,為高流量廢氣的應用提供高可靠性。CT-W提供了多達4個獨立的進氣口,該進氣口可以連接至高達 3,000 slm廢氣總流量的大氣壓力或大氣壓力以下的反應腔。 其他的優勢還包含:*的N2氣體文丘里(正規)、水式文丘里(非正規)、機械式廢氣進口清潔裝置、取 決于廢氣負荷量的純水加藥、以及加熱進口(選配)。所有的這些特色都是為了確保低維護需求和低運行成 本(尤其是針對像AlCl3和NH4Cl這類往往過一段時間便會阻塞進口的氣體)。
機械式廢氣進口清潔裝置