CT-BW廢氣處理設備特點和優勢
? 高達99.99%的破壞除去效率（DRE）
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模塊化
- 一個電器柜可連接高達四組獨立模塊
- 模塊間彼此隔離
- 每個模塊都有其獨立的安全鏈（傳感器，探針等）
? 每個介質只需要一個Hook-up連接點，可多達4個模塊
客戶量身定制的備用配置
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改良的抗腐蝕反應腔蓋
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低運行成本，根據制程來控制燃燒頭性能
反應腔中的水幕，避免腐蝕和阻塞問題
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上至下燃燒器設計，降低燃燒頭噴嘴的阻塞問題
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由于經優化的內部設計，可使維護簡易且快速
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自動化的廢氣進口清潔裝置，增加MTBPM
或RS485的監控接口
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圖形化的使用介面并附解說文字，使故障排除更為容易
量身定制的廢氣減排設置，以滿足各種工藝需求
? Ethernet
燃料氣的選擇性高，如：液化天然氣、城市燃氣、煤氣、氫氣、丙烷、丁烷等
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符合以下的安全標準與規范：
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- SEMI S2-0706
- SEMI S14-0704
- NFPA79: 2007
- SEMI S8-0308
- EN / ISO 14121-1: 2007
- EN / ISO 13849-1: 2008
- EN60204-1: 2006
- MD2006/EC/42-Annex I: 2006
? 德國制造
