一、brooks氣體質量流量控制器概覽
Brooks的數字與模擬熱式質量流量控制器具有業界*的性能—我們的許多產品都已連續工作了20年以上。我們的新型熱式質量流量設備在響應時間、精度、可重復性、調節比及自診斷方面均具有顯著的優勢。
我們的熱式質量流量產品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。
二、brooks氣體質量流量控制器產品特點
- 較低的泄漏率
- 結構緊湊
- 內螺紋排氣口拋光處理
- 常閉閥
- 對安裝位置不敏感
三、brooks氣體質量流量控制器技術參數
- 數字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
- 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
- 流量范圍:0.03-30slpm
- 量程比：50:1
- zui大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
- 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
- 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
- 精度:±1%FS
- 重復性：0.25% of rate
- 響應時間：1-3s
- 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
- 操作溫度范圍：5~65℃
- 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
- 電源：+/-15V
?四、brooks氣體質量流量控制器其他系列產品
- SLA5800S---數字型氣體質量流量計/控制器
- SLA5800 enhanced series
- 4800 series
- 5800S series
- 5851EM
