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電子束曝光系統(tǒng)/曝光機

參考價 5000000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京中科復(fù)華科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號pharos310
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/4/9 9:27:31
  • 訪問次數(shù)412
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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品,同時也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。

電子束曝光系統(tǒng),刻蝕設(shè)備,鍍膜設(shè)備,光刻機
產(chǎn)地 國產(chǎn)
pharos310曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫或投影復(fù)印圖形的技術(shù),它的特點是分辨率高、圖形產(chǎn)生與修改容易、制作周期短。其中掃描曝光系統(tǒng)是電子束在工件面上掃描直接產(chǎn)生圖形,分辨率高,生產(chǎn)率低。投影曝光系統(tǒng)實為電子束圖形復(fù)印系統(tǒng),它將掩模圖形產(chǎn)生的電子像按原尺寸或縮小后復(fù)印到工件上,因此不僅保持了高分辨率,而且提高了生產(chǎn)率。
電子束曝光系統(tǒng)/曝光機 產(chǎn)品信息

加速電壓:30Ke可選50Ke

電子束束流:10PA-200nA

單場尺寸:500μmX500μm

樣品臺:4英寸

樣品臺:采用激光干涉定位

樣品臺移動范圍:100mm

最細線條:30nm

拼接精度:50nm

套刻精度:50nm

中國的曝光系統(tǒng)行業(yè)市場目前正處于快速發(fā)展的階段,技術(shù)不斷進步,產(chǎn)品創(chuàng)新不斷增加。近年來,曝光系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域也發(fā)生了很大變化,在工業(yè)制造、半導(dǎo)體制造、印刷包裝等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
隨著技術(shù)的進步,電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)市場的競爭格局也開始發(fā)生變化。中國電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)市場的競爭格局主要集中于幾個方面。企業(yè)間的競爭日趨激烈,各大廠商均在加強技術(shù)研發(fā)、品牌宣傳等方面進行競爭。在產(chǎn)品質(zhì)量方面,各大廠商也競相投入,以提升產(chǎn)品的抗腐蝕性、精度、可靠性等性能。再次,在價格方面,各大廠商也在不斷努力,以提升電子束曝光系統(tǒng)的性價比,吸引更多的消費者。


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