無塵車間工程
一、概述
無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室。其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。凈化車間根據區域環境、凈化程度等因素,為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準,一些凈化工程公司,在通行標準之外,還設有自身執行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環境適應力遠超國際品牌。
二、應用
潔凈工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業,目前(21世紀)在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業均有應用,并根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。
目前級別的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領域,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的。
三、設備組成
凈化空調系統(凈化空調主機、新風柜、管道配件、高效送風口、回風口)、凈化照明系統、凈化地板系統(環氧樹脂地坪、PVC潔凈地板)、彩鋼板天花及墻壁、凈化設備(風淋室、傳遞窗、超凈工作臺、采樣車、FFU、層流罩、自凈器)、凈化耗材(空氣過濾器、無塵服、無塵鞋、無塵手套)
四、潔凈度等級
GBJ73-84規定的潔凈度等級
等級 | 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數 | 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數 |
100 | 《35*100(〈3.5〉 | |
1000 | 《35*1000(〈35〉 | 《250(〈0.25〉 |
10000 | 《35*10000(〈350〉 | 《2500(〈2.5〉 |
100000 | 《35*100000(〈3500〉 | 《25000(〈25〉 |